一般超純水的核心部分都是反滲透系統(tǒng)，在確定了水源之后選擇合適的反滲透膜。根據(jù)水源硬度等確定使用兩級(jí)RO+離子交換系統(tǒng)還是選擇 RO+陰陽(yáng)床+離子交換系統(tǒng)。然后根據(jù)水源的特性確定反滲透之前預(yù)處理系統(tǒng)（超濾、M...

一般超純水的核心部分都是反滲透系統(tǒng)，在確定了水源之后選擇合適的反滲透膜。根據(jù)水源硬度等確定使用兩級(jí)RO+離子交換系統(tǒng)還是選擇 RO+陰陽(yáng)床+離子交換系統(tǒng)。然后根據(jù)水源的特性確定反滲透之前預(yù)處理系統(tǒng)（超濾、MF、AC等）。
要點(diǎn)：反滲透是制取純水的核心設(shè)備，如何運(yùn)行好反滲透關(guān)鍵在于預(yù)處理，只有嚴(yán)格控制好RO系統(tǒng)進(jìn)水指標(biāo)，RO系統(tǒng)才能平穩(wěn)運(yùn)行。

在半導(dǎo)體產(chǎn)品的制造過程中，由于生產(chǎn)設(shè)備的精度和生產(chǎn)工藝的復(fù)雜性，對(duì)其配套設(shè)施提出了很高的要求，尤其是作為半導(dǎo)體行業(yè)血液的超純水系統(tǒng)。半導(dǎo)體行業(yè)超純水的制造過程可以概括為四個(gè)部分，即預(yù)處理部分、反滲透部分、電去離子部分和拋光混床部分。在一些半導(dǎo)體工廠中，“負(fù)床和正床”也用來代替電去離子裝置，主要是根據(jù)原水水質(zhì)和生產(chǎn)水水質(zhì)對(duì)弱電解質(zhì)的要求。
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
避免了傳統(tǒng)離子再生消耗大量的酸堿，對(duì)環(huán)境更加友好；
克服了傳統(tǒng)離子設(shè)備再生周期較長(zhǎng)的問題；
超濾反洗排水、一級(jí)反滲透濃水排水和CEDI濃水排水及其回用措施有利于節(jié)能減排；
節(jié)約水資源和半導(dǎo)體制造單位的運(yùn)營(yíng)成本。
產(chǎn)品應(yīng)用
預(yù)處理部分
多介質(zhì)過濾器活性炭過濾器
粗濾器超濾裝置
反滲透部分
逆滲透膜
電去離子部分
電子數(shù)據(jù)交換模塊和電子數(shù)據(jù)交換模塊
拋光混床

超純水系統(tǒng)工藝流程
1、預(yù)處理系統(tǒng)→反滲透系統(tǒng)→中間水箱→粗混合床→精混合床→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→精密過濾器→用水對(duì)象（≥18MΩ.CM）(傳統(tǒng)工藝)
2、預(yù)處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對(duì)象（≥18MΩ.CM）(新工藝)
3、預(yù)處理→一級(jí)反滲透→加藥機(jī)（PH調(diào)節(jié)）→中間水箱→第二級(jí)反滲透（正電荷反滲膜）→純水箱→純水泵→EDI裝置→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對(duì)象（≥17MΩ.CM）(新工藝)
4、預(yù)處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對(duì)象（≥15MΩ.CM）(新工藝)
5、預(yù)處理系統(tǒng)→反滲透系統(tǒng)→中間水箱→純水泵→粗混合床→精混合床→紫外線殺菌器→精密過濾器→用水對(duì)象（≥15MΩ.CM）(傳統(tǒng)工藝)